潔(jie)(jie)凈棚的潔(jie)(jie)凈度(du)是依(yi)據(ju)懸浮顆粒物的數量來評(ping)定的。具體的標(biao)(biao)準(zhun)和等級(ji)分類因(yin)國家或者地區的不(bu)同(tong)而有所差異,一般采用的國際標(biao)(biao)準(zhun)是ISO 14644-1。該標(biao)(biao)準(zhun)將(jiang)潔(jie)(jie)凈度(du)分為等級(ji)1至(zhi)9,其中等級(ji)1是最高(gao)級(ji)別的潔(jie)(jie)凈度(du)。各等級(ji)的潔(jie)(jie)凈度(du)要求如(ru)下:
-Class 1:≤10(0.1μm)particles/m3
-Class 2:≤100(0.1μm)particles/m3
-Class 3:≤1,000(0.1μm)particles/m3
-Class 4:≤10,000(0.1μm)particles/m3
-Class 5:≤100,000(0.1μm)particles/m3
-Class 6:≤1,000,000(0.1μm)particles/m3
-Class 7:≤10,000,000(0.1μm)particles/m3
-Class 8:≤100,000,000(0.1μm)particles/m3
-Class 9:>100,000,000(0.1μm)particles/m3
需要(yao)注意的是(shi),具體(ti)的潔凈(jing)度(du)要(yao)求(qiu)會根據產品的不同而有所不同。因此在(zai)實際應(ying)用(yong)中,需要(yao)針(zhen)對不同的產品和(he)應(ying)用(yong)場(chang)景確定具體(ti)的潔凈(jing)度(du)要(yao)求(qiu),并對相應(ying)的潔凈(jing)棚(peng)進行(xing)設計、建(jian)設、運營和(he)維護(hu)。