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凈化(hua)設(she)備干(gan)貨

半導體潔凈室潔凈車間(電子廠潔凈室等級及潔凈標準)

作者:深圳(zhen)茗智凈化  發布時間:2022-08-01

  無塵車間(jian)是(shi)可以分成幾個等(deng)級(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de),十(shi)(shi)級(ji)(ji)(ji)、百級(ji)(ji)(ji)、千(qian)級(ji)(ji)(ji)、萬級(ji)(ji)(ji)、十(shi)(shi)萬級(ji)(ji)(ji)等(deng),現下(xia)的(de)(de)(de)芯片可以說是(shi)非常火(huo)熱(re)的(de)(de)(de)產(chan)(chan)品,因為很(hen)多電子產(chan)(chan)品都離(li)不(bu)開這種東西,不(bu)過(guo)它生(sheng)產(chan)(chan)起(qi)來的(de)(de)(de)要(yao)求是(shi)比(bi)較高的(de)(de)(de),那么芯片廠房的(de)(de)(de)潔凈(jing)度(du)是(shi)要(yao)達到多少級(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)呢?今天(tian)合潔科技電子凈(jing)化工程就跟大家(jia)講(jiang)解下(xia)吧(ba)!

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  芯片(pian)廠(chang)房(fang)的(de)(de)潔凈(jing)(jing)度(du)(du)(du)一(yi)般要求(qiu)是百級(ji),當然具(ju)體(ti)看是哪類(lei)產品,如(ru)果要求(qiu)不高(gao)的(de)(de)廠(chang)房(fang),等級(ji)也可(ke)以適(shi)當放寬(kuan)。半導體(ti)材(cai)料(liao)電子(zi)(zi)器件(jian)工作環(huan)境要求(qiu)的(de)(de)氣體(ti)潔凈(jing)(jing)度(du)(du)(du)等級(ji)關鍵在于半導體(ti)材(cai)料(liao)電子(zi)(zi)器件(jian)的(de)(de)集成化度(du)(du)(du),不一(yi)樣的(de)(de)工藝流(liu)程(cheng)的(de)(de)氣體(ti)潔凈(jing)(jing)度(du)(du)(du)等級(ji)是根據可(ke)能環(huan)境污染的(de)(de)幾率和對(dui)電子(zi)(zi)元器件(jian)的(de)(de)潛在性常見故障(zhang)明確的(de)(de)。

  半(ban)導體材料生產(chan)(chan)制造(zao)對氣(qi)(qi)體潔(jie)(jie)凈(jing)度(du)(du)有(you)(you)(you)高(gao)規定,基本建(jian)設的(de)芯(xin)片(pian)廠房(fang)達‘百級(ji)(ji)’潔(jie)(jie)凈(jing)度(du)(du)。說白(bai)了“百級(ji)(ji)”潔(jie)(jie)凈(jing),即(ji)每(mei)立方英(ying)寸空氣(qi)(qi)中粒度(du)(du)高(gao)于(yu)(yu)(yu)或等(deng)于(yu)(yu)(yu)0.5μm的(de)顆粒總數不超(chao)過100個,媲美最(zui)大潔(jie)(jie)凈(jing)等(deng)級(ji)(ji)規范。為確保“百級(ji)(ji)”潔(jie)(jie)凈(jing),芯(xin)片(pian)廠房(fang)選用(yong)(yong)華(hua)夫板(ban)(ban)(ban)(運用(yong)(yong)混凝(ning)土樓(lou)板(ban)(ban)(ban)內孔眼(yan)產(chan)(chan)生送(song)風(feng)(feng)安(an)全(quan)(quan)通(tong)道(dao)(dao)的(de)混凝(ning)土樓(lou)板(ban)(ban)(ban))高(gao)精度(du)(du)工程(cheng)施工,并創(chuang)建(jian)潔(jie)(jie)凈(jing)中央空調(diao)排風(feng)(feng)系統產(chan)(chan)生送(song)風(feng)(feng)安(an)全(quan)(quan)通(tong)道(dao)(dao)。芯(xin)片(pian)廠房(fang)華(hua)夫板(ban)(ban)(ban)厚度(du)(du)70CM,能(neng)抗微震;華(hua)夫板(ban)(ban)(ban)總面積達1410平(ping)米,在(zai)其(qi)中混凝(ning)土澆筑有(you)(you)(you)35000個直徑35CM的(de)奇氏筒,等(deng)同(tong)于(yu)(yu)(yu)每(mei)2平(ping)米就會有(you)(you)(you)5個用(yong)(yong)以通(tong)氣(qi)(qi)的(de)環形孔眼(yan)。到時候(hou),芯(xin)片(pian)生產(chan)(chan)線布(bu)局(ju)于(yu)(yu)(yu)華(hua)夫板(ban)(ban)(ban)上(shang),白(bai)車身(shen)間運用(yong)(yong)家(jia)用(yong)(yong)新風(feng)(feng)系統進氣(qi)(qi)口確保正壓力,并根據華(hua)夫板(ban)(ban)(ban)送(song)風(feng)(feng)安(an)全(quan)(quan)通(tong)道(dao)(dao)排氣(qi)(qi)管,最(zui)后確保生產(chan)(chan)車間潔(jie)(jie)凈(jing)度(du)(du)。

  目前世界各(ge)(ge)國的(de)電子(zi)器件(jian)生(sheng)產(chan)(chan)(chan)制(zhi)(zhi)造企業、生(sheng)產(chan)(chan)(chan)廠(chang)(chang)家(jia)按分別生(sheng)產(chan)(chan)(chan)制(zhi)(zhi)造的(de)產(chan)(chan)(chan)品種類、采用(yong)的(de)制(zhi)(zhi)作工(gong)藝技(ji)術(shu)性(xing)、生(sheng)產(chan)(chan)(chan)設(she)備、生(sheng)產(chan)(chan)(chan)制(zhi)(zhi)造用(yong)原輔材料及其(qi)潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)的(de)社(she)會經驗等(deng)經濟發(fa)展地明確(que)電子(zi)器件(jian)潔(jie)凈(jing)(jing)廠(chang)(chang)房(fang)(fang)各(ge)(ge)工(gong)藝流程(屋子(zi))要(yao)求(qiu)的(de)氣(qi)(qi)體潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)等(deng)級。據統計,各(ge)(ge)電子(zi)器件(jian)生(sheng)產(chan)(chan)(chan)制(zhi)(zhi)造企業、生(sheng)產(chan)(chan)(chan)廠(chang)(chang)家(jia)在設(she)計方案修(xiu)建電子(zi)器件(jian)車間(jian)凈(jing)(jing)化(hua)工(gong)程項目的(de)潔(jie)凈(jing)(jing)廠(chang)(chang)房(fang)(fang)時采用(yong)的(de)氣(qi)(qi)體潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)等(deng)級、潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)的(de)平面圖和(he)空間(jian)規(gui)劃(hua)、空氣(qi)(qi)凈(jing)(jing)化(hua)設(she)備、潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)工(gong)程建筑等(deng)層面的(de)技(ji)術(shu)規(gui)范、技(ji)術(shu)措施(shi)均各(ge)(ge)有(you)(you)特色、各(ge)(ge)有(you)(you)不(bu)同。

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