【凈化設備】潔凈棚測量標準是什么？

　　潔(jie)(jie)凈(jing)棚的測(ce)量標(biao)(biao)準主要基(ji)于ISO 14644-1標(biao)(biao)準，該標(biao)(biao)準對潔(jie)(jie)凈(jing)室的潔(jie)(jie)凈(jing)度(du)進行(xing)了(le)分(fen)類，從而方便實施、測(ce)試和記錄。根據(ju)該標(biao)(biao)準，對于不同的潔(jie)(jie)凈(jing)度(du)硬件及(ji)控制要求，需要使用(yong)不同的設備(bei)測(ce)量。以(yi)下是常(chang)見的測(ce)量設備(bei)和標(biao)(biao)準：

　　1.粒(li)(li)子計(ji)數(shu)(shu)器：用于(yu)測(ce)量空(kong)氣中的顆(ke)粒(li)(li)數(shu)(shu)目。根據(ju)ISO 14644-1標準，空(kong)氣中顆(ke)粒(li)(li)的濃度應(ying)該(gai)按照(zhao)每(mei)(mei)立方(fang)米的最大(da)(da)顆(ke)粒(li)(li)數(shu)(shu)進行(xing)統(tong)計(ji)。例如，對于(yu)Class 5（ISO 5）級別的潔(jie)凈室，每(mei)(mei)立方(fang)米的最大(da)(da)顆(ke)粒(li)(li)數(shu)(shu)應(ying)該(gai)小(xiao)于(yu)100。

　　2.風速(su)儀：用于測量空氣流速(su)，以確保潔凈棚(peng)內部空氣的流動符合(he)設計要(yao)求。根據ISO 14644-1標準，潔凈棚(peng)中的空氣流速(su)應該(gai)在某一特定(ding)的范圍內。

　　3.溫(wen)濕度(du)計：用于測(ce)量潔(jie)凈棚內(nei)部的溫(wen)度(du)和濕度(du)。根(gen)據(ju)各行(xing)業(ye)的標準和要求可能略有不同，一般潔(jie)凈棚內(nei)部的溫(wen)度(du)和濕度(du)需要根(gen)據(ju)生(sheng)產(chan)、測(ce)試和儲存的產(chan)品要求來(lai)進行(xing)控(kong)制。

　　4.壓(ya)差(cha)(cha)計：用于測量(liang)潔(jie)凈(jing)棚(peng)中(zhong)的(de)(de)正(zheng)負(fu)壓(ya)差(cha)(cha)。正(zheng)負(fu)壓(ya)差(cha)(cha)是潔(jie)凈(jing)棚(peng)中(zhong)，壓(ya)力(li)(li)空間之(zhi)間的(de)(de)壓(ya)力(li)(li)差(cha)(cha)，控制這個差(cha)(cha)值可以(yi)有效(xiao)地保證潔(jie)凈(jing)棚(peng)的(de)(de)潔(jie)凈(jing)度(du)。

　　判定(ding)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)棚的(de)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)度通(tong)常(chang)(chang)基于不(bu)同級別潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)度的(de)顆粒數(shu)(shu)(shu)及(ji)各方(fang)面(mian)參數(shu)(shu)(shu)的(de)監控測量結果。標準(zhun)要求每個級別的(de)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)度都應該(gai)滿足特定(ding)粒子(zi)數(shu)(shu)(shu)和(he)壓差范圍等要求。如果經常(chang)(chang)對(dui)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)棚的(de)各項(xiang)參數(shu)(shu)(shu)進行測量和(he)監控，以及(ji)及(ji)時(shi)對(dui)參數(shu)(shu)(shu)不(bu)正(zheng)常(chang)(chang)或發生趨勢變化的(de)潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)棚進行及(ji)時(shi)維修。