半(ban)(ban)導(dao)體(ti)行(xing)業(ye)是(shi)一個(ge)高度精(jing)密和技術含(han)量極高的行(xing)業(ye),所生產的各(ge)種集成電(dian)路板和半(ban)(ban)導(dao)體(ti)芯(xin)片需要在(zai)極為潔凈(jing)(jing)(jing)的環(huan)境(jing)(jing)下進行(xing)制造和加工,以保證其質(zhi)量和性能。半(ban)(ban)導(dao)體(ti)潔凈(jing)(jing)(jing)室是(shi)專門為此而(er)設計的一種環(huan)境(jing)(jing),在(zai)這種潔凈(jing)(jing)(jing)室中全面凈(jing)(jing)(jing)化空(kong)氣,以確保其中的機器和設備都能夠在(zai)極為潔凈(jing)(jing)(jing)的環(huan)境(jing)(jing)中正常運轉。根據國際標準(zhun)ISO 14644-1,半(ban)(ban)導(dao)體(ti)潔凈(jing)(jing)(jing)室分為四(si)個(ge)級別(bie)。
1.級(ji)(ji)別(bie)1-超(chao)凈級(ji)(ji)別(bie)(實際(ji)上還有一種比(bi)它(ta)更嚴格的超(chao)凈級(ji)(ji)別(bie),但(dan)因(yin)其非常(chang)罕(han)見,在(zai)此不再討論(lun))。
這種級別(bie)的(de)潔凈室(shi)的(de)空(kong)氣(qi)中(zhong)最大的(de)允許顆粒(li)數為每立方米空(kong)氣(qi)中(zhong)不超過10個(ge)。它(ta)(ta)是(shi)用(yong)于一些高精(jing)技術(shu)領域的(de),例如準分子(zi)激光器和微(wei)電子(zi)制造等(deng)。它(ta)(ta)同(tong)樣(yang)需要非常嚴格(ge)的(de)入(ru)室(shi)標準和管(guan)理流程,必須(xu)有高效的(de)空(kong)氣(qi)過濾系統來過濾和清理用(yong)于運輸儲(chu)存的(de)器件和材料(liao)。同(tong)樣(yang),員工也(ye)必須(xu)穿著精(jing)確的(de)防護(hu)服,進入(ru)該級別(bie)的(de)潔凈室(shi)。
2.級別2-高(gao)潔凈度級別。
這種級別(bie)的(de)(de)潔(jie)凈室通(tong)常適用于(yu)微電子器件的(de)(de)制造(zao)。其中空氣(qi)中最(zui)大的(de)(de)允許(xu)顆粒(li)數為每立方米空氣(qi)中不超過(guo)100個(ge)。該級別(bie)下也有著非(fei)常嚴格的(de)(de)入室要求和管理流程(cheng),并(bing)需要使(shi)用高(gao)性能(neng)的(de)(de)空氣(qi)過(guo)濾(lv)系統。
3.級別3-中潔凈度級別。
這種級(ji)(ji)別的(de)潔凈室適用(yong)于(yu)一些精密器材的(de)生(sheng)產運作。該級(ji)(ji)別下的(de)最大(da)允許(xu)的(de)顆粒數(shu)為每立方米空(kong)氣(qi)中(zhong)不超過1,000個。在該級(ji)(ji)別的(de)潔凈室中(zhong),管理(li)要求比前(qian)兩個級(ji)(ji)別要稍(shao)松些,但依然要求進入人員必(bi)須(xu)嚴格控制。
4.級別(bie)(bie)4-低潔凈(jing)度級別(bie)(bie)。
該級別下的(de)(de)(de)潔凈室(shi)是(shi)用(yong)于一些低(di)精度(du)要求領(ling)域的(de)(de)(de)。它可以(yi)適用(yong)于普通(tong)的(de)(de)(de)半導體制造中(zhong)。該級別下的(de)(de)(de)最大(da)允(yun)許的(de)(de)(de)顆粒數(shu)為每立方米空氣中(zhong)不(bu)超(chao)過10,000個。
總而言之,半導(dao)體(ti)潔(jie)凈室(shi)是一(yi)個中極為重(zhong)要的作用(yong),可以幫助生產衛星,臺式電腦,手機,汽車等重(zhong)要普及物品(pin)。而因其任務(wu)的特殊(shu)性,半導(dao)體(ti)潔(jie)凈室(shi)對于空氣的要求(qiu)是相當高(gao)嚴格的。遵守最(zui)高(gao)標準,確保實現最(zui)大程(cheng)度的潔(jie)凈度,才能(neng)保障生產過程(cheng)中的產品(pin)質量。