潔凈實驗室建設標準（潔凈實驗室建設標準最新）

　　一、定義

　　潔凈室(shi)最主(zhu)要(yao)之(zhi)(zhi)作用在于(yu)(yu)控制產(chan)品(pin)（如硅芯片等）所接(jie)觸(chu)之(zhi)(zhi)大氣的(de)潔凈度日及溫濕度，使產(chan)品(pin)能(neng)在一(yi)個良(liang)好之(zhi)(zhi)環境空間(jian)中生(sheng)產(chan)、制造(zao)，此(ci)空間(jian)我們(men)稱之(zhi)(zhi)為潔凈室(shi)。按照國際慣例(li)，無塵(chen)凈化(hua)級(ji)別主(zhu)要(yao)是(shi)根據每立方(fang)米空氣中粒(li)子(zi)直徑大于(yu)(yu)劃分標(biao)準的(de)粒(li)子(zi)數量來規定。也就是(shi)說(shuo)所謂(wei)無塵(chen)并非100%沒有一(yi)點灰(hui)塵(chen)，而是(shi)控制在一(yi)個非常(chang)微量的(de)單位上。當(dang)然這個標(biao)準中符(fu)合灰(hui)塵(chen)標(biao)準的(de)顆粒(li)相(xiang)對(dui)于(yu)(yu)我們(men)常(chang)見的(de)灰(hui)塵(chen)已(yi)經是(shi)小(xiao)的(de)微乎其微，但是(shi)對(dui)于(yu)(yu)光(guang)學(xue)(xue)構造(zao)而言(yan)，哪(na)怕是(shi)一(yi)點點的(de)灰(hui)塵(chen)都會產(chan)生(sheng)非常(chang)大的(de)負面影響，所以在光(guang)學(xue)(xue)構造(zao)產(chan)品(pin)的(de)生(sheng)產(chan)上，無塵(chen)是(shi)必(bi)然的(de)要(yao)求。

　　每立方(fang)米將小于0.3微米粒(li)徑的(de)(de)微塵(chen)(chen)數量控制在3500個(ge)以下，就(jiu)達到(dao)了(le)國(guo)際無塵(chen)(chen)標(biao)(biao)準的(de)(de)A級。目前應(ying)用在芯(xin)片級生產加工的(de)(de)無塵(chen)(chen)標(biao)(biao)準對于灰(hui)塵(chen)(chen)的(de)(de)要求高于A級，這樣(yang)的(de)(de)高標(biao)(biao)主要被(bei)應(ying)用在一些(xie)等級較高芯(xin)片生產上。微塵(chen)(chen)數量被(bei)嚴(yan)格控制在每立方(fang)米1000個(ge)以內，這也就(jiu)是業內俗稱的(de)(de)1K級別。

　　潔(jie)凈室(shi)用途主要(yao)有以(yi)下三個：

　　空氣潔(jie)凈室：已經建(jian)造(zao)完成并(bing)可以投入使用的(de)潔(jie)凈室（設施）。它具(ju)備所有有關的(de)服務和功能。但是，在設施內(nei)沒有操作(zuo)人(ren)員操作(zuo)的(de)設備。

　　靜(jing)態潔(jie)凈室(shi)：各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使(shi)用或正在(zai)使(shi)用的潔(jie)凈室(shi)（設施），但是設施內沒有操作人(ren)員。

　　動態潔凈(jing)(jing)室：處于正常使用的(de)(de)潔凈(jing)(jing)室，服務功能完善(shan)，有設備(bei)和人員；如(ru)果(guo)需要，可(ke)從事正常的(de)(de)工作。

　　二、控管項目

　　1、能(neng)除去空氣中飄游之微塵(chen)粒子。

　　2、能防(fang)止(zhi)微塵粒子(zi)之產生。

　　3、溫度和(he)濕度之控(kong)制(zhi)。

　　4、壓力之調節。

　　5、有(you)害氣體之排(pai)除。

　　6、結構物與隔間之(zhi)氣密(mi)性。

　　7、靜電之(zhi)防制。

　　8、電磁(ci)干擾預防。

　　9、安全因素(su)之考慮。

　　10、節(jie)能之考量。

　　三、分類

　　亂流式(shi)(Turbulent Flow)

　　空(kong)氣(qi)由空(kong)調箱經(jing)風管與潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)內(nei)之(zhi)空(kong)氣(qi)過濾器(qi)(HEPA)進入潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)，并由潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)兩側(ce)隔間墻板或(huo)高架地板回(hui)風。氣(qi)流(liu)非直線型(xing)(xing)運動而呈不規則之(zhi)亂(luan)流(liu)或(huo)渦(wo)流(liu)狀態。此型(xing)(xing)式適用(yong)于(yu)潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)等級1,000-100,000級。

　　定義：氣流(liu)(liu)以不(bu)均勻速度(du)不(bu)平(ping)行流(liu)(liu)動、伴(ban)有回流(liu)(liu)或渦流(liu)(liu)的潔凈室。

　　原理：亂流潔凈室靠(kao)送風氣(qi)流不斷(duan)稀(xi)釋室內空氣(qi)，將(jiang)污染(ran)空氣(qi)逐漸稀(xi)釋，來實(shi)現潔凈的（亂流潔凈室一般設計在(zai)千級(ji)以(yi)上至30萬(wan)級(ji)凈化級(ji)別）。

　　特性(xing)：亂流潔凈(jing)(jing)室是靠多(duo)次(ci)換氣來實現潔凈(jing)(jing)與(yu)潔凈(jing)(jing)級別(bie)。換氣次(ci)數決(jue)定定義中的凈(jing)(jing)化(hua)級別(bie)（換氣次(ci)數越(yue)多(duo)，凈(jing)(jing)化(hua)級別(bie)越(yue)高(gao)）

　　（1）自凈(jing)時間：是指潔凈(jing)室按(an)設計(ji)(ji)(ji)換氣次數(shu)開始送風到潔凈(jing)室，室內含(han)塵濃度達(da)到所設計(ji)(ji)(ji)的凈(jing)化(hua)級別的時間。1,000級希望不(bu)超過20min(分鐘)(可取(qu)15min計(ji)(ji)(ji)算(suan))10,000級希望不(bu)超過30min(分鐘)(可取(qu)25min計(ji)(ji)(ji)算(suan))100,000級希望不(bu)超過40min(分鐘)(可取(qu)30min計(ji)(ji)(ji)算(suan))

　　（2）換(huan)氣次(ci)(ci)(ci)數（按上述自凈時間要(yao)求設計(ji)）1,000級43.5—55.3次(ci)(ci)(ci)小時(規范(fan):50次(ci)(ci)(ci)小時)10,000級23.8—28.6次(ci)(ci)(ci)小時(規范(fan):25次(ci)(ci)(ci)小時)100,000級14.4—19.2次(ci)(ci)(ci)小時(規范(fan):15次(ci)(ci)(ci)小時)

　　優點(dian)：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之(zhi)擴充(chong)比較(jiao)容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提(ti)高潔凈室等級。

　　缺(que)點：亂流造(zao)成的微塵粒子于室內空(kong)間(jian)飄浮不易排(pai)出(chu)，易污染制程產品。另外若系(xi)統停(ting)止運(yun)轉(zhuan)再激(ji)活，欲達需求之潔(jie)凈度，往往須耗(hao)時(shi)相當長一段時(shi)間(jian)。

　　層流(liu)式(shi)(Laminar)

　　層流式空(kong)氣氣流運動成一(yi)均勻(yun)之(zhi)(zhi)(zhi)直線(xian)形，空(kong)氣由(you)覆(fu)蓋率100%之(zhi)(zhi)(zhi)過(guo)濾(lv)器進入(ru)室(shi)(shi)內，并(bing)由(you)高架地板或兩側(ce)隔(ge)墻(qiang)板回(hui)風，此型式適用于(yu)潔凈(jing)室(shi)(shi)等(deng)級需定(ding)較(jiao)高之(zhi)(zhi)(zhi)環(huan)境使用，一(yi)般(ban)其潔凈(jing)室(shi)(shi)等(deng)級為(wei)Class 1~100。其型式可分為(wei)二(er)種(zhong)：

　　(1)水(shui)平(ping)層(ceng)流式：水(shui)平(ping)式空氣自過(guo)濾(lv)器單方向吹出，由對邊墻(qiang)壁之(zhi)回風系統回風，塵(chen)埃隨風向排出室外，一般(ban)在下流側(ce)污染較嚴重(zhong)。

　　優點：構(gou)造簡單，運轉(zhuan)后短時間內即可(ke)變成穩定(ding)。

　　缺點：建造費用比亂流式高(gao)，室內(nei)空(kong)間不易擴充。

　　(2)垂(chui)直層流(liu)式(shi)：房(fang)間(jian)天花(hua)板完全(quan)以ULPA過濾器覆蓋，空(kong)氣由上往下吹，可(ke)得較高之潔凈度，在制程(cheng)中或(huo)工作人員所(suo)產生的塵埃可(ke)快速排出室(shi)外而(er)不會影響(xiang)其它工作區域。

　　優點：管(guan)理(li)容易(yi)，運轉開(kai)始短時間內即(ji)可(ke)達穩定狀(zhuang)態，不易(yi)為作業(ye)狀(zhuang)態或(huo)作業(ye)人員所影響。

　　缺點：構造(zao)費用(yong)較高(gao)，彈性運(yun)用(yong)空間困難，天花板之(zhi)吊架相(xiang)當(dang)占空間，維修更換過濾器(qi)較麻(ma)煩。

　　復合式(Mixed Type)

　　復(fu)(fu)合(he)式(shi)為將亂流(liu)式(shi)及(ji)層流(liu)式(shi)予以復(fu)(fu)合(he)或并用，可提(ti)供局部超(chao)潔(jie)凈之空氣。

　　(1)潔凈(jing)隧(sui)道(Clean Tunnel)：以(yi)HEPA或ULPA過濾(lv)器將制程區域或工作區域100%覆蓋(gai)使潔凈(jing)度等(deng)級提高至10級以(yi)上(shang)，可節省安裝(zhuang)運轉費(fei)用。

　　此型式(shi)需將作業人員之工作區與產品和機器(qi)(qi)維(wei)修(xiu)予以(yi)隔(ge)離，以(yi)避(bi)免機器(qi)(qi)維(wei)修(xiu)時影響了(le)工作及(ji)品質，ULSI制程大都采用此種型式(shi)。

　　潔凈隧道另有(you)二(er)項(xiang)優(you)點：A.彈性擴充容易；B.維修設(she)備時可在維修區輕(qing)易執行。

　　(2)潔凈(jing)(jing)管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包(bao)圍并凈(jing)(jing)化處理，將潔凈(jing)(jing)度等級提至100級以上。因產品和作(zuo)業(ye)員及(ji)發塵環境相互隔離(li)，少量之送風即可(ke)得到(dao)良好之潔凈(jing)(jing)度，可(ke)節省能源，不(bu)需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食(shi)品業(ye)界(jie)及(ji)半導體業(ye)界(jie)均適用。

　　(3)并(bing)裝(zhuang)局(ju)部潔(jie)凈(jing)室(shi)(Clean Spot)：將潔(jie)凈(jing)室(shi)等(deng)級10,000~100,000之亂流潔(jie)凈(jing)室(shi)內之產品制程(cheng)區的潔(jie)凈(jing)度等(deng)級提高為(wei)(wei)10~1000級以(yi)上，以(yi)為(wei)(wei)生產之用；潔(jie)凈(jing)工作臺、潔(jie)凈(jing)棚、裝(zhuang)配(pei)式潔(jie)凈(jing)室(shi)、潔(jie)凈(jing)衣(yi)柜即屬此類。

　　潔凈工作臺：等(deng)級Class 1~100級。

　　潔凈棚(peng)：為在(zai)亂流式之(zhi)潔凈室(shi)空(kong)間(jian)內(nei)以防靜電之(zhi)透明塑(su)料(liao)布(bu)圍成一小空(kong)間(jian)，采用(yong)獨(du)立(li)之(zhi)HEPA或ULPA及(ji)空(kong)調送風(feng)機組而(er)成為一較高級之(zhi)潔凈空(kong)間(jian)，其等級為10~1000級，高度在(zai)2.5米(mi)左右，覆(fu)蓋面(mian)積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性(xing)運用(yong)。

　　四、氣流的流動

　　氣流的重要性

　　潔凈(jing)室的潔凈(jing)度往往受到(dao)氣(qi)流的影響，換(huan)言之(zhi)，即人(ren)、機(ji)器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之(zhi)移動、擴散受到(dao)氣(qi)流的支配。

　　潔凈(jing)(jing)室系利用HEPA、ULPA過(guo)濾空氣，其塵(chen)埃的收集率達(da)99.97~99.99995%之多，因(yin)此(ci)(ci)經過(guo)此(ci)(ci)過(guo)濾器(qi)過(guo)濾的空氣可說十分干凈(jing)(jing)。然(ran)而潔凈(jing)(jing)室內除了(le)人以外，尚有機(ji)器(qi)等之發塵(chen)源(yuan)，這些發生的塵(chen)埃一旦擴散，即無法保持潔凈(jing)(jing)空間，因(yin)此(ci)(ci)必須利用氣流將發生的塵(chen)埃迅(xun)速排出室外。

　　風速的控制

　　潔凈(jing)室內(nei)的(de)氣流是(shi)左(zuo)右潔凈(jing)室性(xing)能的(de)重要因(yin)素，一(yi)般潔凈(jing)室的(de)氣流速度是(shi)選0.25~0.5ms之(zhi)間，此(ci)氣流速度屬微風區域，易受(shou)人、機器(qi)等的(de)動(dong)作而(er)干擾(rao)趨于混亂(luan)、雖提高風速可抑制此(ci)一(yi)擾(rao)亂(luan)之(zhi)影(ying)(ying)響(xiang)而(er)保持潔凈(jing)度、但因(yin)風速的(de)提高，將影(ying)(ying)響(xiang)運轉成(cheng)本的(de)增加，所以應在(zai)滿(man)足(zu)要求的(de)潔凈(jing)度水準之(zhi)時，能以最適當的(de)風速供應，以達(da)到(dao)適當的(de)風速供應以達(da)到(dao)經(jing)濟(ji)性(xing)效果。

　　另一(yi)(yi)方面(mian)欲達到(dao)潔(jie)凈室潔(jie)凈度之穩(wen)定效果，均一(yi)(yi)氣(qi)流(liu)之保(bao)持亦(yi)為一(yi)(yi)重要因素，均一(yi)(yi)氣(qi)流(liu)若無法保(bao)持，表示風速有異，特別是在壁面(mian)，氣(qi)流(liu)會延著壁面(mian)發生渦流(liu)作用，此(ci)時要實(shi)現高(gao)潔(jie)凈度事實(shi)上很困難。

　　垂直層流(liu)(liu)式方(fang)向要保持均(jun)(jun)一氣(qi)流(liu)(liu)必須：(a)吹出(chu)面(mian)(mian)的風(feng)速(su)(su)不(bu)可(ke)(ke)有(you)速(su)(su)度(du)上(shang)的差異；(b)地(di)板(ban)回風(feng)板(ban)吸(xi)入面(mian)(mian)之風(feng)速(su)(su)不(bu)可(ke)(ke)有(you)速(su)(su)度(du)上(shang)的差異。速(su)(su)度(du)過低或過高(0.2ms，0.7ms)均(jun)(jun)有(you)渦流(liu)(liu)之現象發生(sheng)，而0.5ms之速(su)(su)度(du)，氣(qi)流(liu)(liu)則較均(jun)(jun)一，目(mu)前(qian)一般潔凈(jing)室，其風(feng)速(su)(su)均(jun)(jun)取在(zai)0.25~0.5ms之間。

　　影響因素

　　影響潔(jie)(jie)凈室的(de)氣(qi)流因素很多(duo)，如制程設備、人員、潔(jie)(jie)凈室組裝材(cai)、照明器具等，同時(shi)對于生產(chan)設備上方(fang)氣(qi)流的(de)分流點，亦(yi)應列(lie)入(ru)考慮因素。

　　一般操作(zuo)(zuo)(zuo)臺或(huo)生產(chan)設(she)備等(deng)表面(mian)的氣流分(fen)(fen)流點，應設(she)于潔凈(jing)室空(kong)間(jian)與隔(ge)墻板間(jian)距23之處，如此可使(shi)作(zuo)(zuo)(zuo)業人員工作(zuo)(zuo)(zuo)時(shi)，氣流可從制程區(qu)內部流向(xiang)作(zuo)(zuo)(zuo)業區(qu)，而將(jiang)微塵帶走；若分(fen)(fen)流點配置在制程區(qu)前(qian)方，將(jiang)成為(wei)不當(dang)的氣流分(fen)(fen)流，此時(shi)大(da)部份的氣流將(jiang)流至制程區(qu)之后(hou)，作(zuo)(zuo)(zuo)業員操作(zuo)(zuo)(zuo)所引起(qi)的塵埃(ai)將(jiang)被(bei)帶到設(she)備后(hou)面(mian)，工作(zuo)(zuo)(zuo)臺因而將(jiang)受到污染，良(liang)率(lv)也勢必降低。

　　潔凈室內的(de)工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象(xiang)發(fa)生(sheng)，相對地在其附近之潔凈度(du)將會較差(cha)，在工作桌面鉆上回(hui)風孔，將使渦流現象(xiang)減少最低；組(zu)裝(zhuang)材(cai)料之選擇(ze)是否(fou)恰(qia)當(dang)、設備布局是否(fou)完善，亦為氣流是否(fou)成為渦流現象(xiang)之重要因素。

　　五、潔凈室之構成

　　潔凈室(shi)的(de)構成是(shi)由下列各(ge)項(xiang)系統所組成(在所組成的(de)系統分子中是(shi)缺一不(bu)可的(de))，否(fou)則將無法構成一完整(zheng)且品質(zhi)良好的(de)潔凈室(shi)：

　　(1)天花(hua)板系統(tong)：包括(kuo)吊桿(gan)(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花(hua)板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

　　(2)空(kong)調系(xi)統：包括(kuo)空(kong)氣艙、過濾器系(xi)統、風車等。

　　(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。

　　(4)地板(ban)：包括高(gao)架地板(ban)或防靜電舒(shu)美地板(ban)。

　　(5)照(zhao)明器具：包括日光(guang)燈(deng)、黃色(se)燈(deng)管等。

　　潔凈室(shi)之建筑主(zhu)體(ti)構造，一般是(shi)用鋼筋或骨水泥，但(dan)無論是(shi)何種構造，必(bi)須滿足如(ru)下之條件：

　　A.不會因溫度(du)變化與(yu)振(zhen)動(dong)而發生裂痕；

　　B.不易(yi)產(chan)生微塵粒子，且(qie)很難(nan)附著粒子；

　　C.吸濕性小；

　　D.為了(le)維持室內(nei)之濕(shi)度條件，熱絕緣性要高(gao)；

　　六、潔凈室按用途分類（可分為兩大類）

　　工業潔凈室

　　以無生(sheng)命微粒的(de)控(kong)制為對象。主要控(kong)制空氣塵埃微粒對工作對象的(de)污染，內部一般保持正壓狀態。它(ta)適(shi)用于(yu)精密機械工業(ye)、電(dian)子(zi)工業(ye)（半導(dao)體、集(ji)成電(dian)路等）宇航工業(ye)、高(gao)純度(du)化(hua)學工業(ye)、原(yuan)子(zi)能工業(ye)、光磁產品工業(ye)（光盤、膠片、磁帶生(sheng)產）LCD（液晶玻(bo)璃）、電(dian)腦硬(ying)盤、電(dian)腦磁頭(tou)生(sheng)產等多(duo)行業(ye)。

　　生物潔凈室

　　主要控制有生命(ming)微(wei)粒(li)（細菌(jun)）與(yu)無生命(ming)微(wei)粒(li)（塵(chen)埃）對工(gong)作對象的污染(ran)。又可分為(wei)；

　　A、一般生(sheng)(sheng)物潔凈(jing)室：主(zhu)要(yao)(yao)控制微生(sheng)(sheng)物（細菌(jun)）對象的污(wu)染(ran)。同時其內(nei)部材(cai)料(liao)(liao)要(yao)(yao)能經(jing)受(shou)各種滅菌(jun)劑(ji)侵蝕，內(nei)部一般保證正壓。實質上其內(nei)部材(cai)料(liao)(liao)要(yao)(yao)能經(jing)受(shou)各種滅菌(jun)處理(li)的工業潔凈(jing)室。例：制藥工業、醫(yi)院（手(shou)術室、無(wu)菌(jun)病房）食品(pin)、化妝品(pin)、飲料(liao)(liao)產品(pin)生(sheng)(sheng)產、動物實驗室、理(li)化檢驗室、血站(zhan)等(deng)。

　　B、生(sheng)物(wu)學安全潔凈室(shi)：主要控制(zhi)(zhi)工(gong)作對象(xiang)的(de)有生(sheng)命(ming)微粒對外界和(he)人的(de)污染。內部要保持與大氣的(de)負壓。例：細菌(jun)學、生(sheng)物(wu)學、潔凈實(shi)驗(yan)室(shi)、物(wu)物(wu)工(gong)程（重組基因、疫苗(miao)制(zhi)(zhi)備）

　　七、潔凈室污染源知識

　　1、發塵量

　　潔凈室內(nei)的(de)(de)發(fa)塵(chen)(chen)(chen)量(liang)，來(lai)自(zi)設(she)備的(de)(de)可(ke)考慮(lv)通過(guo)(guo)局(ju)部(bu)排風(feng)排除，不(bu)流入室內(nei)；產品(pin)，材料等在運送過(guo)(guo)程中的(de)(de)發(fa)塵(chen)(chen)(chen)與人(ren)體(ti)發(fa)塵(chen)(chen)(chen)量(liang)相比，一般極(ji)小(xiao)，可(ke)忽(hu)略(lve)；由于(yu)金屬半壁（彩鋼夾心(xin)板）的(de)(de)應(ying)用來(lai)自(zi)建筑表面的(de)(de)發(fa)塵(chen)(chen)(chen)也(ye)很少，一般占10%以下，發(fa)塵(chen)(chen)(chen)主要來(lai)自(zi)人(ren)，占90%左右(you)。在人(ren)的(de)(de)發(fa)塵(chen)(chen)(chen)量(liang)上(shang)，由于(yu)服裝材料和(he)樣式的(de)(de)改進，發(fa)塵(chen)(chen)(chen)絕對量(liang)也(ye)不(bu)斷減少。

　　A、材(cai)質：棉質發(fa)塵量最(zui)大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼(ni)龍。

　　B、樣式：大掛式發塵量最大，上(shang)下分裝型(xing)(xing)次(ci)之，全(quan)罩型(xing)(xing)最少(shao)；

　　C、活動(dong)：動(dong)作時(shi)的(de)發(fa)塵量(liang)一般達(da)到靜止時(shi)間3-7倍；

　　D、清洗：用(yong)(yong)溶劑洗滌的發塵量(liang)降至用(yong)(yong)一般水清洗的五分之(zhi)一。

　　室內維護結構表面(mian)(mian)(mian)發(fa)塵量，以地面(mian)(mian)(mian)為準，大約相(xiang)應8平方米(mi)地面(mian)(mian)(mian)時的表面(mian)(mian)(mian)發(fa)塵量與一個靜止的人的發(fa)塵量相(xiang)當(dang)。

　　2、發菌量

　　工作人員產生的污染：

　　1）皮(pi)膚：人(ren)類通常每四天完(wan)成一(yi)次皮(pi)膚的(de)完(wan)全脫(tuo)(tuo)換，人(ren)類每分鐘(zhong)脫(tuo)(tuo)落約1000片皮(pi)膚（平均大小為30*60*3微米）

　　2）頭(tou)發：人類(lei)的頭(tou)發（直(zhi)徑約為50~100微米）一直(zhi)在脫落。

　　3）口水：包(bao)括鈉、酶(mei)、鹽、鉀、氯化物及(ji)食品微粒。

　　4）日常(chang)衣物：微粒、纖(xian)維、硅土、纖(xian)維素(su)、各種化(hua)學品和細菌。

　　5）人類(lei)靜止和坐立(li)每分鐘將產生10000個大于0.3微米的微粒。

　　6）人類在頭部和軀干做動(dong)作時每分鐘將產生1000000個大于0.3微米(mi)的微粒。

　　7）人(ren)類(lei)以0.9ms的速度行走時每分鐘將產生5000000個大于0.3微(wei)米的微(wei)粒(li)。

　　分析國(guo)外試(shi)驗(yan)資(zi)料可(ke)以(yi)認為：

　　（１）潔(jie)凈(jing)室(shi)內當(dang)工作(zuo)人員穿無菌服時：

　　靜止時的發菌量一般為10-300個(ge)min.人

　　軀體一般活動時的發菌量(liang)為(wei)150-1000個min.人

　　快步行走時的發(fa)菌量為900-2500個min.人

　　（２）咳嗽一次(ci)一般為70~700個(ge)min.人

　　噴嚏(ti)一(yi)次一(yi)般為4000~62000個min.人(ren)

　　（３）穿平常衣服(fu)時發菌量(liang)3300~62000個min.人

　　（４）無口(kou)罩發(fa)菌量:有口(kou)罩發(fa)菌量1:7~1:14

　　（５）發(fa)菌量(liang)：發(fa)塵量(liang)1:500~1:1000據國(guo)內事例(li)：

　　（６）手術中人員發菌量(liang)878個min.人

　　所以(yi)，可知潔凈(jing)室(shi)內(nei)無菌衣人(ren)員的靜態(tai)發菌量(liang)一(yi)般(ban)不超過300個(ge)min.人(ren)，動態(tai)發菌量(liang)一(yi)般(ban)不超過1000個(ge)min人(ren)，以(yi)此作(zuo)為計算依據是可行的。