一、潔凈室等級標準
潔凈(jing)室需(xu)要將(jiang)一定范(fan)(fan)圍內(nei)空(kong)(kong)(kong)氣中的(de)微粒(li)子、有害空(kong)(kong)(kong)氣、細菌等之污染(ran)物排(pai)除,并將(jiang)無(wu)塵室內(nei)溫(wen)度、潔凈(jing)度、室內(nei)壓力、氣流(liu)速度與氣流(liu)分布、噪(zao)音振動及照明、靜電(dian)控(kong)制(zhi)在某(mou)一需(xu)求范(fan)(fan)圍內(nei),通常根據實驗室空(kong)(kong)(kong)氣中的(de)顆(ke)粒(li)數量,對潔凈(jing)室進行分類。
潔凈(jing)室的分類(lei)根據國家(jia)不同(tong)有不同(tong)的等(deng)級規(gui)定,目前世界各(ge)國雖有自訂規(gui)格,但普(pu)遍還是采用美(mei)國聯(lian)邦標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】。
其中需要(yao)(yao)(yao)注意的,A、B、C、D級(ji)別的劃(hua)分(fen)是(shi)參照ISO標準(歐盟采納的方式(shi)(shi)),其本身包(bao)含了(le)靜態要(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)和動(dong)(dong)態要(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)。舊版GMP采納的是(shi)美國的潔凈間(jian)劃(hua)分(fen)方式(shi)(shi),舊版的潔凈間(jian)劃(hua)分(fen)僅有靜態的概念,不要(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)動(dong)(dong)態。
在美(mei)國(guo)的(de)聯邦標準(zhun)209(A至D)中(zhong),在一(yi)立方英尺(chi)的(de)空氣中(zhong)測量等于(yu)或(huo)大于(yu)0.5mm的(de)顆粒數(shu),并且該(gai)計數(shu)用于(yu)對潔凈室進行(xing)分類。該(gai)標準(zhun)的(de)最(zui)新209E版本(ben)也接受該(gai)度量標準(zhun)。聯邦標準(zhun)209E在國(guo)內使用。較新的(de)標準(zhun)是國(guo)際標準(zhun)組織(zhi)的(de)TC 209。
這兩個標準都根據(ju)實驗室(shi)(shi)(shi)空(kong)氣中(zhong)的顆粒數(shu)量(liang)對潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)進行(xing)(xing)了分類。潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)分類標準FS 209E和ISO 14644-1要求進行(xing)(xing)特定的顆粒計數(shu)測量(liang)和計算,以對潔(jie)(jie)凈室(shi)(shi)(shi)或潔(jie)(jie)凈區域的清潔(jie)(jie)度水(shui)平(ping)進行(xing)(xing)分類。
二、生物潔凈室潔凈度等級
潔凈室按空氣清潔程度分類,如(ru)果無塵(chen)室的(de)(de)(de)等(deng)級(ji)(ji)(ji)(ji)只用塵(chen)粒(li)數(shu)目來(lai)(lai)敘述,則可假(jia)設塵(chen)粒(li)的(de)(de)(de)尺寸(cun)為0.5μm,例(li)如(ru),1級(ji)(ji)(ji)(ji)、10級(ji)(ji)(ji)(ji)、例(li)如(ru)100級(ji)(ji)(ji)(ji)無塵(chen)室最(zui)大塵(chen)埃粒(li)子數(shu)目分別(bie)小于(yu)或等(deng)于(yu)1顆、10顆、100顆。如(ru)果塵(chen)粒(li)尺寸(cun)不是0.5μm,無塵(chen)室等(deng)級(ji)(ji)(ji)(ji)應以在一特定塵(chen)粒(li)尺寸(cun)的(de)(de)(de)級(ji)(ji)(ji)(ji)數(shu)來(lai)(lai)表示(shi),分別(bie)分為1級(ji)(ji)(ji)(ji)、10級(ji)(ji)(ji)(ji)、100級(ji)(ji)(ji)(ji)、1000級(ji)(ji)(ji)(ji)、10000級(ji)(ji)(ji)(ji)、100000級(ji)(ji)(ji)(ji),數(shu)值越小,凈化級(ji)(ji)(ji)(ji)別(bie)就(jiu)越高(gao)(gao)。潔凈度越高(gao)(gao)造價就(jiu)越高(gao)(gao)。
三、各行業對潔凈度等級的要求
1級凈化(hua)車(che)間:主要用于制造集成電路(lu)的(de)微(wei)電子工業,對集成電路(lu)的(de)精確要求為亞微(wei)米(mi)。
10級凈(jing)化車間:主要(yao)用于帶(dai)寬小于2微(wei)米的半(ban)導體(ti)工(gong)業。
百級凈化車間:可用于醫藥工業(ye)的無(wu)菌制(zhi)造工藝(yi)等。
千級凈化(hua)車(che)間(jian):主(zhu)要用于(yu)高(gao)質量(liang)光學(xue)產(chan)品的(de)生產(chan),還用于(yu)測試,裝配飛機陀螺儀,裝配高(gao)質微型軸(zhou)承等。
萬(wan)級凈化車間:主要用于液壓(ya)設備或氣壓(ya)設備的裝配,某些情況下也用于食(shi)品飲料工業,此外,萬(wan)級潔凈室(shi)在醫(yi)工業中也很常(chang)用。
十萬(wan)級(ji)凈(jing)化(hua)車(che)間:十萬(wan)級(ji)潔(jie)凈(jing)室用(yong)于很多的工業(ye)部門,比如光學產品的制造,用(yong)于較小的元器件制造大型的電子系(xi)統,液壓(ya)或氣壓(ya)系(xi)統的制造,食(shi)品飲料的生(sheng)產,醫、藥(yao)工業(ye)也常(chang)常(chang)使用(yong)。